電磁波概說

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Chamber
節省空間,組合式可拆解 ,防磁效能(SE)高 ,適用於EB曝光裝置、電子顯微鏡、精密測量器、無塵室變頻器或其他磁干擾機台等。

設置在較寬暢空間、獨立磁場屏蔽 ,適用於特殊實驗室、精密測量室、無塵室、半導體製造等

Area
DC 磁場變動抑制 、AC 交變磁場抑制 、現有實驗室淨空間改造 、適用於安置電子束微 影機 (EBL)、電子顯微 鏡(TEM、SEM)、無塵室半導體製造、精密測量室等

Room
MRI室、超音波室、手術室等